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电子厂房(Electronic factory building)

发布时间:2019-03-30 14:45| 位朋友查看

简介:电子行业,特别迅速发展的亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别高,在对洁净度的提出更高要求方面,电子工业是促进前进动力。集成电路光刻工艺的尺寸是推动洁净室要求向前发展的决定因素,技术越进步,尺寸就越小,如果落在集成电路上的粒子大于小尺寸的1%……